Goobta codsiga ee moduleka dhaqdhaqaaqa hawada ee hal-dhidibka ah ee sabbaynaya oo aad u saxsan iyadoo la isticmaalayo saldhig granite ah.

Soo saarista Semiconductor-ka: Habka wax soo saarka chip-ka, habka sawir-qaadista wuxuu u baahan yahay inuu si sax ah ugu wareejiyo qaabka wareegga wafer-ka. Saldhigga granite-ka ee hal-dhidibka hawada ee sabbaynaya ultra-saxnaanta sare wuxuu bixin karaa meelaynta saxda ah iyo taageero deggan oo loogu talagalay miiska wafer-ka ee qalabka lithography-ga. Tusaale ahaan, ASML iyo soosaarayaasha kale ee caanka ah ee mashiinka lithography-ga ee caalamiga ah waxay isticmaalaan modules-yada dhaqdhaqaaqa hawada ee salka granite-ka ee qalabkooda heerka sare ah, kuwaas oo xakamayn kara saxnaanta booska wafer-ka ee heerka nanometer-ka si loo hubiyo saxnaanta qaabka lithography-ga, taasoo hagaajinaysa isdhexgalka iyo waxqabadka chip-ka.
Goobta cabbirka saxda ah: CMM waa qalab cabbir sax ah oo badanaa loo isticmaalo wax soo saarka warshadaha, kaas oo loo isticmaalo in lagu cabbiro cabbirka, qaabka iyo saxnaanta booska ee shaqada. Qaybta dhaqdhaqaaqa ee aadka u saxsan ee hawada hal-dhidibka ah ee ku dul sabbaysa saldhigga granite-ka waxaa loo isticmaali karaa sidii madal dhaqdhaqaaqa CMM, kaas oo xaqiijin kara dhaqdhaqaaqa toosan ee saxnaanta sare leh isla markaana bixin kara waddo dhaqdhaqaaq oo deggan oo loogu talagalay baaritaanka cabbirka. Tusaale ahaan, CMM-ga Hexagon ee heerka sare ah wuxuu adeegsadaa isku-darkaan si uu u cabbiro qaybo waaweyn oo adag oo leh cabbir saxnaan ilaa heerka micron, isagoo bixinaya dammaanad adag oo loogu talagalay xakamaynta tayada qaybaha ee baabuurta, hawada sare iyo warshadaha kale.
Goobta Hawada Sare: Habka iyo tijaabinta qaybaha hawada sare, saxnaan sare ayaa loo baahan yahay. Tusaale ahaan, farsamaynta daabyada matoorka diyaaradaha waxay u baahan tahay xakameyn sax ah oo ku saabsan jihada dhaqdhaqaaqa qalabka si loo hubiyo saxnaanta muuqaalka daabka. Saldhigga granite-ka ee hal-dhidibka hawada ee sabbaynaya ultra-precision module-ka dhaqdhaqaaqa waxaa lagu dabaqi karaa xarunta mashiinka shan-dhidibka iyo qalabka kale si loo bixiyo xakamaynta dhaqdhaqaaqa saxnaanta sare ee qalabka iyo in la hubiyo in saxnaanta farsamaynta daabku ay buuxin karto shuruudaha naqshadeynta. Isla mar ahaantaana, habka isu-imaatinka matoorka hawada sare, waxaa sidoo kale lagama maarmaan ah in la isticmaalo qalabka cabbiraadda saxnaanta sare si loo ogaado saxnaanta isu-imaatinka qaybaha. Qaybta dhaqdhaqaaqa hawada ee sabbaynaya ee saldhigga granite-ka waxay bixin kartaa taageero deggan iyo dhaqdhaqaaq sax ah oo loogu talagalay qalabka cabbiraadda si loo hubiyo tayada isu-imaatinka.
Goobta kormeerka indhaha: Habka wax soo saarka iyo tijaabinta qaybaha indhaha, waxaa lagama maarmaan ah in la sameeyo meelaynta saxda ah iyo cabbiraadda qaybaha indhaha. Tusaale ahaan, marka la soo saarayo qaybaha indhaha ee saxda ah sida muraayadaha iyo muraayadaha, waxaa lagama maarmaan ah in la isticmaalo qalabka interferometers iyo qalab kale si loo ogaado saxnaanta qaabka dusha sare. Saldhigga granite ee hal dhidibka hawada ee sabbaynaya moduleka dhaqdhaqaaqa aadka u saxsan waxaa loo isticmaali karaa sidii madal dhaqdhaqaaqa ee interferometer-ka, kaas oo xaqiijin kara saxnaanta booska hoose ee micron isla markaana bixin kara taageero xog sax ah oo lagu ogaanayo qaybaha indhaha. Intaa waxaa dheer, qalabka wax lagu farsameeyo laser-ka, waxaa sidoo kale lagama maarmaan ah in la isticmaalo madal dhaqdhaqaaq sax ah si loo xakameeyo wadada sawir-qaadista ee iftiinka laysarka, saldhigga granite-ka ee module-ka dhaqdhaqaaqa hawada ee sabbaynaya ayaa buuxin kara shuruudahan, si loo gaaro habaynta laysarka sax ah.