Dhinaca kormeerka wafer-ka semiconductor-ka, daahirnimada deegaanka qolka nadiifka ah waxay si toos ah ula xiriirtaa wax soo saarka badeecada. Maadaama saxnaanta hababka wax soo saarka jajabku ay sii fiicnaanayso, shuruudaha qalabka lagu ogaanayo qalabka lagu ogaanayo ayaa sii kordhaya. Goobaha granite-ka, oo leh astaamo aan lahayn sii deynta ion-ka birta ah iyo wasakhowga walxaha yar, ayaa ka sarreeyay agabka birta aan miridhku lahayn ee dhaqameed waxayna noqdeen xalka ugu habboon ee qalabka kormeerka wafer-ka.
Dhagaxa granite waa dhagax dabiici ah oo ka kooban macdano aan bir ahayn sida quartz, feldspar iyo mica. Astaantan waxay siinaysaa faa'iidada sii deynta ion bir ah oo eber ah. Taas bedelkeeda, birta aan miridhku lahayn, oo ah isku-darka biraha sida birta, chromium iyo nikkel, waxay u nugul tahay daxalka elektrokemikaalka ah ee dusha sare sababtoo ah nabaad-guurka uumiga biyaha iyo gaasaska aashitada ama alkaline ee jawiga qolka nadiifka ah, taasoo keenta roobabka ion-yada birta sida Fe²⁺ iyo Cr³⁺. Marka ion-yadan yaryar ay ku dhegaan dusha sare ee wafer-ka, waxay beddeli doonaan sifooyinka korontada ee walxaha semiconductor-ka hababka xiga sida sawir-qaadista iyo sawir-qaadista, waxay sababi karaan hoos u dhaca danabka heerka transistor-ka, xitaa waxay horseedi doonaan wareegyo gaagaaban oo wareegga ah. Xogta baaritaanka hay'adda xirfadeed waxay muujinaysaa in ka dib markii madal granite-ka si joogto ah loogu soo bandhigay jawi nadiif ah oo qolka nadiifka ah iyo qoyaanka (23±0.5℃, 45%±5% RH) muddo 1000 saacadood ah, sii deynta ion-yada birta waxay ka hooseysay xadka ogaanshaha (< 0.1ppb). Heerka cilladaha ee wafer-yada ay keento wasakhaynta birta ion marka la isticmaalayo goobaha birta aan daxalka lahayn waxay noqon kartaa mid u dhaxaysa 15% ilaa 20%.
Marka laga hadlayo xakamaynta wasakhowga walxaha, goobaha granite-ka sidoo kale si aad ah ayay u shaqeeyaan. Qolalka nadiifka ah waxay leeyihiin shuruudo aad u sarreeya oo ku saabsan uruurinta walxaha la hakiyey ee hawada ku jira. Tusaale ahaan, qolalka nadiifinta ee ISO Class 1, tirada walxaha 0.1μm ee loo oggol yahay mitir kuyuubik ah ma dhaafto 10. Xitaa haddii goobta birta aan miridhku lahayn lagu daweeyay nadiifin, waxay weli soo saari kartaa burbur bir ah ama miisaan oksaydh ah oo ka soo baxa xoogagga dibadda sida gariirka qalabka iyo hawlgalka shaqaalaha, taas oo faragelin karta waddada indhaha ee ogaanshaha ama xoqin karta dusha sare ee wafer-ka. Goobaha granite-ka, oo leh qaab-dhismeedkooda macdanta cufan (cufnaanta ≥2.7g/cm³) iyo adkaanta sare (6-7 ee cabbirka Mohs), uma nugul yihiin inay xirmaan ama jabaan inta lagu jiro isticmaalka muddada dheer. Cabbiraadaha la cabbiray waxay muujinayaan inay yareyn karaan isku-darka walxaha la hakiyey ee hawada aagga qalabka ogaanshaha in ka badan 40% marka la barbar dhigo goobaha birta aan miridhku lahayn, iyagoo si wax ku ool ah u ilaalinaya heerarka heerka qolka nadiifka ah.
Marka laga soo tago astaamaheeda nadiifka ah, waxqabadka dhammaystiran ee goobaha granite-ka ayaa sidoo kale aad uga badan kan birta aan miridhku lahayn. Marka laga eego xasilloonida kulaylka, isku-darka ballaarinta kulaylka waa kaliya (4-8) ×10⁻⁶/℃, wax ka yar kala bar birta aan miridhku lahayn (qiyaastii 17×10⁻⁶/℃), taas oo si fiican u ilaalin karta saxnaanta booska qalabka ogaanshaha marka heerkulka qolka nadiifka ah uu isbeddelo. Astaamaha qoyaanka sare (saamiga qoyaanka > 0.05) ayaa si dhakhso ah u yareyn kara gariirka qalabka oo ka hortagi kara baaritaanka ogaanshaha inuu ruxo. Iska caabbinta daxalka dabiiciga ah waxay u suurtagelinaysaa inay xasilloonaato xitaa marka la kulmo dareerayaasha photoresist, gaasaska qora iyo kiimikooyinka kale iyada oo aan loo baahnayn ilaalin dheeraad ah oo dahaarka ah.
Waqtigan xaadirka ah, goobaha granite-ka ayaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha wax soo saarka wafer-ka ee horumarsan. Xogtu waxay muujinaysaa in ka dib markii la qaatay goobta granite-ka, heerka khaldan ee ogaanshaha walxaha dusha sare ee wafer-ka ayaa hoos u dhacay 60%, wareegga qalabka ayaa la kordhiyay saddex jeer, kharashka guud ee wax soo saarkana wuxuu hoos u dhacay 25%. Iyadoo warshadaha semiconductor-ka ay u socdaan saxnaan sare, goobaha granite-ka, oo leh faa'iidooyinkooda asaasiga ah sida sii deynta birta eber iyo wasakhowga walxaha oo hooseeya, waxay sii wadi doonaan inay bixiyaan taageero deggan oo la isku halleyn karo oo loogu talagalay kormeerka wafer-ka, taasoo noqonaysa awood muhiim ah oo horseedda horumarka warshadaha.
Waqtiga boostada: Maajo-20-2025