Goobta kormeerka wafer-ka ee semiconductor, nadiifinta deegaanka qolka nadiifka ah waxay si toos ah ula xiriirtaa wax soo saarka. Sida saxda ah ee geeddi-socodyada wax-soo-saarka chip-ku ay sii wadaan inay soo hagaagaan, shuruudaha qaadista dhufto ee qalabka wax lagu ogaanayo waxay noqonayaan kuwo aad u adag. Goobaha Granite, oo leh sifooyinkooda sii daynta birta eber iyo wasakhowga walxaha hooseeya, waxay dhaafeen alaabada birta ah ee caadiga ah waxayna noqdeen xalka la doorbido ee qalabka baarista wafer.
Granite waa dhagax igneous dabiici ah oo inta badan ka kooban macdanta aan biraha ahayn sida quartz, feldspar iyo mica. Dabeecaddani waxay siinaysaa faa'iidada sii-deynta ion birta eber. Taas bedelkeeda, birta aan la taaban karin, sida daawaha birta ah sida birta, chromium iyo nikkel, waxay u nugul tahay daxalka korantada ee dusha sare sababtoo ah nabaad guurka uumiga biyaha iyo gaaska acidic ama alkaline ee deegaanka qolka nadiifka ah, taasoo keentay roobabka ion birta sida Fe²⁺ iyo Cr³⁺. Marka ions-yar-yar ay ku dhejiyaan dusha sare ee wafer-ka, waxay bedeli doonaan sifooyinka korantada ee walxaha semiconductor ee hababka soo socda sida sawir-qaadista iyo etching, waxay sababi karaan qulqulka korantada ee transistor-ka, oo xitaa u horseedi doona wareegyada gaaban ee wareegga. Xogta tijaabada machadyada xirfadlayaasha ah waxay muujineysaa in ka dib markii goobta granite ay si joogto ah u soo bandhigtay heerkulka qolka nadiifka ah iyo jawi qoyaan ah (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) saacadaha 1000, sii deynta ion birta ayaa ka hooseysa xadka lagu ogaanayo (<0.1ppb). Heerka cilladaysan ee waferrada ay keento wasakhowga birta ee birta marka la isticmaalayo meelaha birta aan lahayn waxay noqon kartaa ilaa 15% ilaa 20%.
Marka la eego xakamaynta wasakheynta walxaha, meeraha granite sidoo kale waxay u qabtaan si aan caadi ahayn. Qolalka nadiifka ah waxay leeyihiin shuruudo aad u sarreeya oo loogu talagalay uruurinta walxaha laalaaday ee hawada. Tusaale ahaan, in ISO Class 1 qolalka nadiifka ah, tirada qaybaha 0.1μm loo ogol yahay halkii mitir cubic kama badnaan 10. Xitaa haddii madal birta ah ayaa lagu sameeyay daawaynta polishing, waxa laga yaabaa in weli soo saaro qashinka biraha ama miisaanka oxide dilo off ay sabab u tahay ciidamada dibadda sida gariir qalabka iyo hawlgalka shaqaalaha, taas oo faragelin kara ogaanshaha jidka indhaha ama xoqin dusha. Goobaha Granite, oo leh qaab-dhismeedkooda macdanta cufan (cufnaanta ≥2.7g/cm³) iyo adkaanta sare (6-7 ee miisaanka Mohs), uma nugul xirashada ama jebinta muddada dheer ee isticmaalka. Cabbiraadyada la cabbiray waxay muujinayaan inay yareyn karaan isku-ururinta walxaha hakiyay hawada aagga qalabka wax lagu ogaanayo in ka badan 40% marka la barbar dhigo aaladaha birta ah, iyagoo si wax ku ool ah u ilaalinaya heerarka fasalka nadiifka ah.
Marka lagu daro sifooyinkeeda nadiifka ah, waxqabadka guud ee dhufto ee granite ayaa sidoo kale aad uga badan kan birta aan lahayn. Marka la eego xasilloonida kulaylka, iskudarkeeda ballaadhinta kulaylka waa kaliya (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, in ka yar kala badh tan birta ah (qiyaastii 17 × 10⁻⁶ / ℃), taas oo si fiican u ilaalin karta saxnaanta meelaynta qalabka ogaanshaha marka heerkulka qolka nadiifka ah uu is beddelo. Sifada qoyaanka sare leh (saamiga qoyaanka> 0.05) waxay si degdeg ah u yaraynaysaa gariirka qalabka kana hor istaagi kartaa baaritaanka ogaanshaha inuu gariiro. Iska caabbinta daxalka dabiiciga ah waxay awood u siineysaa inay xasilloonaato xitaa marka ay soo gaarto dareerayaasha photoresist, gaaska etching iyo kiimikooyinka kale iyada oo aan loo baahnayn ilaalin dahaar dheeraad ah.
Waqtigan xaadirka ah, dhufto ee granite ayaa si weyn loogu isticmaalaa dhirta wax soo saarka wafer ee horumarsan. Xogtu waxay muujineysaa in ka dib markii la qaatay madal granite ah, heerka khaldan ee ogaanshaha walxaha dusha sare ee wafer ayaa hoos u dhacay 60%, wareegga cabbiraadda qalabka ayaa la kordhiyay saddex jeer, iyo guud ahaan kharashka wax soo saarka ayaa hoos u dhacay 25%. Maaddaama warshadaha semiconductor ay u socdaan dhinaca saxda ah ee sare, dhufto ee granite, oo leh faa'iidooyinkooda asaasiga ah sida sii deynta eber birta ah iyo wasakhowga qaybta hoose, waxay sii wadi doonaan inay bixiyaan taageero xasilloon oo la isku halleyn karo oo loogu talagalay kormeerka wafer, oo noqda xoog muhiim ah oo horseedaya horumarka warshadaha.
Waqtiga boostada: Meey-20-2025