Saldhigga Granite: Maxay tahay "Lammaanaha Dahabka ah" ee mashiinnada Photolithography?

Soo saarista semiconductor-ka, mashiinka sawir-qaadista waa aalad muhiim ah oo go'aamisa saxnaanta jajabyada, saldhigga granite-ka, oo leh astaamo badan, wuxuu noqday qayb aan laga maarmi karin oo ka mid ah mashiinka sawir-qaadista.

Xasiloonida kulaylka: "Gaashaanka" ka dhanka ah Isbeddellada Heerkulka
Marka mashiinka sawir-qaadista uu shaqeynayo, wuxuu dhaliyaa kulayl badan. Xitaa isbeddelka heerkulka oo ah 0.1℃ oo keliya ayaa sababi kara isbeddel ku yimaada qaybaha qalabka waxayna saameyn kartaa saxnaanta sawir-qaadista. Isugeynta ballaarinta kulaylka ee granite-ka waa mid aad u hooseysa, oo keliya 4-8 × 10⁻⁶/℃, taasoo ah qiyaastii 1/3 oo birta ah iyo 1/5 oo ah aluminium dahaarka. Tani waxay awood u siineysaa saldhigga granite-ka inuu ilaaliyo xasilloonida cabbirka marka mashiinka sawir-qaadista uu shaqeeyo muddo dheer ama marka heerkulka deegaanku isbeddelo, taasoo hubinaysa booska saxda ah ee qaybaha indhaha iyo qaab-dhismeedka farsamada.

Granite sax ah27

Waxqabadka aadka uga hortagga gariirka: "Isbuunyo" nuuga gariirka
Warshad semiconductor ah, hawlgalka qalabka ku xeeran iyo dhaqdhaqaaqa dadku dhammaantood waxay abuuri karaan gariir. Granite waxay leedahay cufnaan sare iyo qaab adag, waxayna leedahay sifooyin qoyaan oo aad u fiican, iyadoo saamiga qoyaanku uu yahay 2 ilaa 5 jeer ka badan biraha. Marka gariirka dibadda loo gudbiyo saldhigga granite-ka, is-jiidjiidka u dhexeeya kiristaalo macdanta gudaha ah ayaa tamarta gariirka u beddela tamar kuleyl si loo kala diro, taas oo si weyn u yareyn karta gariirka waqti gaaban gudaheed, taasoo u oggolaanaysa mashiinka sawir-qaadista inuu si dhakhso ah u soo celiyo xasilloonida oo uu ka fogaado mugdiga ama si khaldan u dhigista qaabka sawir-qaadista sababtoo ah gariirka.

Xasiloonida Kiimikada: "Ilaaliyaha" Deegaan Nadiif ah
Gudaha mashiinka sawir-qaadista wuxuu la xiriiraa kiimikooyin kala duwan, walxaha birta caadiga ahna waxay u nugul yihiin daxalka ama sii deynta walxaha. Granite wuxuu ka kooban yahay macdano sida quartz iyo feldspar. Wuxuu leeyahay sifooyin kiimiko oo deggan iyo iska caabin xoog leh oo daxalka ah. Ka dib marka lagu qooyo xalalka aashitada iyo alkali, daxalka dusha sare aad buu u yar yahay. Dhanka kale, qaab-dhismeedkiisa cufan wuxuu soo saaraa wax qashin ah ama boodh ah, taasoo buuxinaysa shuruudaha heerarka ugu sarreeya ee qolka nadiifinta waxayna yareyneysaa khatarta wasakhowga wafer.

Habaynta la qabsiga: "Agabka ugu habboon" ee lagu abuurayo halbeegyo sax ah
Qaybaha asaasiga ah ee mashiinka sawir-qaadista ayaa loo baahan yahay in lagu rakibo dusha sare ee tixraaca saxnaanta sare leh. Qaab-dhismeedka gudaha ee granite waa mid isku mid ah waana fududahay in si sax ah loo farsameeyo iyada oo loo marayo shiidi, nadiifin iyo farsamooyin kale. Fidsanaantiisu waxay gaari kartaa ≤0.5μm/m, iyo qallafsanaanta dusha sare ee Ra waa ≤0.05μm, taasoo bixinaysa saldhig rakibaad sax ah oo loogu talagalay qaybaha sida muraayadaha indhaha.

Cimri dheer iyo dayactir la'aan: "Qalabka fiiqan" ee loogu talagalay dhimista kharashka
Marka la barbardhigo walxaha birta ah ee u nugul daalka iyo dildilaaca isticmaalka muddada dheer, granite-ku si dhib yar ayuu u maraa qaab-dhismeedka balaastikada ama jabka marka loo eego culayska caadiga ah, mana u baahna daawaynta dusha sare, sidaas darteedna wuxuu ka fogaanayaa khatarta ah in dahaarka diirmo iyo wasakhowga. Codsiyada wax ku oolka ah, ka dib markii la isticmaalay sannado badan, tilmaamayaasha waxqabadka muhiimka ah ee saldhigga granite-ka ayaa wali xasilloonaan kara, taasoo yaraynaysa kharashka hawlgalka iyo dayactirka qalabka.

Laga bilaabo xasilloonida kulaylka, iska caabbinta gariirka ilaa firfircoonida kiimikada, sifooyinka badan ee saldhigga granite-ka si fiican ayay u buuxiyaan shuruudaha mashiinka sawir-qaadista. Maadaama habka wax-soo-saarka jajabku uu sii socdo si sax ah, saldhigyada granite-ka waxay sii wadi doonaan inay ka ciyaaraan door aan la beddeli karin oo ku saabsan wax-soo-saarka semiconductor-ka.

Qalabka Cabbiraadda Saxda ah


Waqtiga boostada: Maajo-20-2025