Dhinaca wax soo saarka semiconductor-ka, oo ah qalabka asaasiga ah ee go'aamiya saxnaanta habka wax soo saarka jajabka, xasilloonida deegaanka gudaha ee mashiinka sawir-qaadista ayaa muhiimad weyn leh. Laga bilaabo kicinta isha iftiinka ultraviolet-ka ee aadka u daran ilaa hawlgalka madal dhaqdhaqaaqa saxda ah ee nanoscale, ma jiri karto leexasho yar oo ku taal xiriir kasta. Saldhigyada granite, oo leh taxane astaamo gaar ah, waxay muujinayaan faa'iidooyin aan la barbar dhigi karin oo ku saabsan hubinta hawlgalka xasilloon ee mashiinnada sawir-qaadista iyo kor u qaadista saxnaanta sawir-qaadista.
Waxqabadka gaashaanka elektaroonigga ah ee heer sare ah
Gudaha mashiinka sawir-qaadista waxaa ka buuxa jawi koronto oo isku dhafan. Faragelinta elektromagnetikada (EMI) oo ay soo saaraan qaybaha sida ilaha iftiinka ultraviolet-ka ee aadka u daran, matoorada wadista, iyo sahayda korontada ee soo noqnoqda sare, haddii aan si wax ku ool ah loo xakamayn, waxay si weyn u saameyn doontaa waxqabadka qaybaha elektaroonigga ah ee saxda ah iyo nidaamyada indhaha ee ku jira qalabka. Tusaale ahaan, faragelintu waxay sababi kartaa leexashooyin yar oo ku yimaada qaababka sawir-qaadista. Hawsha wax soo saarka ee horumarsan, tani waxay ku filan tahay inay horseeddo isku xirnaanta transistor-ka ee khaldan ee ku yaal jajabka, taasoo si weyn u yareyneysa wax soo saarka jajabka.
Granite waa walax aan bir ahayn mana socodsiiso koronto keligeed. Ma jirto wax ifafaale ah oo ku-soo-jiidashada elektromagnikada oo ay keento dhaqdhaqaaqa elektromagnikada xorta ah ee gudaha sida walxaha birta ah. Astaantan ayaa ka dhigaysa jir dabiici ah oo ilaaliya elektromagnikada, kaas oo si wax ku ool ah u xannibi kara waddada gudbinta ee faragelinta elektromagnikada gudaha. Marka goobta magnetic-ka ee beddelan ee ay soo saarto isha faragelinta elektromagnikada dibadda ay ku faafto saldhigga granite-ka, maadaama granite-ku aanu ahayn birlab oo aan la birlabeyn karin, goobta magnetic-ka ee beddelan way adag tahay in la dhexgalo, taasoo ka ilaalinaysa qaybaha asaasiga ah ee mashiinka photolithography-ga ee lagu rakibay saldhigga, sida dareemayaasha saxda ah iyo aaladaha hagaajinta muraayadaha indhaha, saameynta faragelinta elektromagnikada iyo hubinta saxnaanta wareejinta qaabka inta lagu jiro habka photolithography.
Waafaqsanaan faakiyuum oo heer sare ah
Maadaama iftiinka ultraviolet-ka daran (EUV) si fudud loogu nuugo dhammaan walxaha, oo ay ku jiraan hawada, mashiinnada lithography-ga EUV waa inay ku shaqeeyaan jawi faaruq ah. Waqtigan xaadirka ah, waafajinta qaybaha qalabka iyo deegaanka faaruq ah ayaa si gaar ah muhiim u ah. Marka la isticmaalo faaruq, agabku wuxuu milmi karaa, burburin karaa oo sii deyn karaa gaaska. Gaaska la sii daayay ma aha oo kaliya inuu nuugo iftiinka EUV, taasoo yareyneysa xoojinta iyo hufnaanta gudbinta iftiinka, laakiin sidoo kale waxay wasakheyn kartaa muraayadaha indhaha. Tusaale ahaan, uumiga biyuhu wuxuu oksaydhi karaa muraayadaha, hydrocarbons-kuna waxay ku shubi karaan lakab kaarboon muraayadaha, taasoo si weyn u saamaysa tayada lithography-ga.
Granite waxay leedahay sifooyin kiimiko oo deggan waxayna si dhib yar u sii deysaa gaas jawi faaruq ah. Sida laga soo xigtay tijaabooyin xirfadeed, jawi faaruq ah oo mashiinka sawir-qaadista sawir-qaadista ah oo la sawiray (sida jawi faaruq ah oo aad u nadiif ah oo nidaamka iftiinka iftiinka iyo nidaamka sawir-qaadista ee qolka ugu weyn ay ku yaalliin, taasoo u baahan H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), heerka qiiqa ka baxaya saldhigga granite-ka aad ayuu u hooseeyaa, aad ayuu uga hooseeyaa kan agabka kale sida biraha. Tani waxay u suurtagelinaysaa gudaha mashiinka sawir-qaadista inuu ilaaliyo heer faaruq sare iyo nadiifin muddo dheer, taasoo hubinaysa gudbinta sare ee iftiinka EUV inta lagu jiro gudbinta iyo jawi isticmaal oo aad u nadiif ah oo loogu talagalay muraayadaha indhaha, kordhinta cimriga adeegga ee nidaamka indhaha, iyo kor u qaadista waxqabadka guud ee mashiinka sawir-qaadista.
Iska caabin xoog leh oo gariir iyo xasillooni kuleyl
Inta lagu jiro habka sawir-qaadista, saxnaanta heerka nanometer-ka waxay u baahan tahay in mashiinka sawir-qaadista uusan lahayn gariir yar ama isbeddel kulka. Gariirka deegaanka ee ka dhasha hawlgalka qalabka kale iyo dhaqdhaqaaqa shaqaalaha ee goobta shaqada, iyo sidoo kale kulaylka uu soo saaro mashiinka sawir-qaadista laftiisa inta lagu jiro hawlgalka, dhammaantood waxay faragelin karaan saxnaanta sawir-qaadista. Granite wuxuu leeyahay cufnaan sare iyo qaab-dhismeed adag, wuxuuna leeyahay iska caabin gariir oo aad u fiican. Qaab-dhismeedkiisa kiristaalka macdanta gudaha waa mid isku dhafan, kaas oo si wax ku ool ah u yareyn kara tamarta gariirka isla markaana si dhakhso ah u joojin kara faafitaanka gariirka. Xogta tijaabada ah waxay muujinaysaa in isla isha gariirka, saldhigga granite uu hoos u dhigi karo baaxadda gariirka in ka badan 90% 0.5 ilbiriqsi gudahood. Marka la barbardhigo saldhigga birta, waxay si dhakhso ah ugu soo celin kartaa qalabka xasilloonida, iyadoo hubinaysa booska saxda ah ee u dhexeeya muraayadda sawir-qaadista iyo wafer-ka, iyo ka fogaanshaha mugdiga qaabka ama is-waafajinta uu keeno gariirka.
Dhanka kale, isku-dhafka ballaarinta kulaylka ee granite-ka waa mid aad u hooseeya, qiyaastii (4-8) ×10⁻⁶/℃, kaas oo aad uga hooseeya kan walxaha birta ah. Inta lagu jiro hawlgalka mashiinka sawir-qaadista, xitaa haddii heerkulka gudaha uu isbeddelo sababo la xiriira arrimo sida soo saarista kulaylka ka imanaya isha iftiinka iyo isku-dhafka qaybaha farsamada, saldhigga granite-ku wuxuu ilaalin karaa xasilloonida cabbirka mana mari doono isbeddel weyn sababtoo ah ballaarinta kulaylka iyo isku-soo-ururinta. Waxay bixisaa taageero deggan oo la isku halleyn karo oo loogu talagalay nidaamka indhaha iyo goobta dhaqdhaqaaqa saxda ah, iyadoo ilaalinaysa isku-dheellitirka saxnaanta sawir-qaadista.
Waqtiga boostada: Maajo-20-2025