?
Dhinaca wax soo saarka semiconductor, sida qalabka asaasiga ah ee go'aamiya saxnaanta habka wax-soo-saarka chip-ka, xasilloonida deegaanka gudaha ee mashiinka sawir-qaadista ayaa muhiimad muhiim ah leh. Laga soo bilaabo xamaasadda isha iftiinka ultraviolet ee aadka u daran ilaa hawlgalka nanoscale madal dhaqdhaqaaqa saxda ah, ma jiri karo wax yar oo leexleex ah xiriir kasta. Saldhigyada Granite, oo leh taxane siyaalo gaar ah, waxay muujinayaan faa'iidooyin aan la qiyaasi karin si loo hubiyo hawlgalka xasilloon ee mashiinnada sawir-qaadista iyo kor u qaadista saxnaanta sawir-qaadista. ?
Waxqabadka gaashaanka korantada ee heersare ah
Gudaha mashiinka sawir-qaadista waxaa ka buuxa jawi korantada oo adag. Faragelinta korantada (EMI) ee ay abuuraan qaybo ay ka mid yihiin ilaha iftiinka ultraviolet ee aadka u daran, matoorada wadista, iyo sahayda korantada ee heerka sare ah, haddii aan si wax ku ool ah loo xakamayn, waxay si dhab ah u saamayn doontaa waxqabadka qaybaha elektiroonigga ah ee saxda ah iyo nidaamyada indhaha ee qalabka dhexdiisa. Tusaale ahaan, faragelintu waxay sababi kartaa in wax yar ka leexdo qaababka sawir-qaadista. Nidaamyada wax soo saarka ee horumarsan, tani waxay ku filan tahay inay horseeddo isku xirka transistor-ka khaldan ee chip-ka, taasoo si weyn u yaraynaysa wax-soosaarka chip-ka. ?
Granite waa walxo aan bir ahayn oo koronto keligeed ma qabato. Ma jirto ifafaale soo kicinta korantada oo ay keento dhaqdhaqaaqa elektarooniga bilaashka ah gudaha sida walxaha macdanaha ah. Dabeecaddani waxay ka dhigaysaa jirka difaaca korantada ee dabiiciga ah, kaas oo si wax ku ool ah u xannibi kara jidka gudbinta ee faragelinta korantada gudaha. Marka goobta magnetic beddelka ah ee ka soo baxa isha faragelinta korantada dibadda ay ku faafto saldhigga granite, maadaama granite uusan ahayn magnetic oo aan la magnetized karin, goobta magnetic beddelka ah way adag tahay in la dhex galo, iyada oo la ilaalinayo qaybaha asaasiga ah ee mashiinka sawir-qaadista ee lagu rakibay saldhigga, sida dareemayaasha saxda ah iyo muraayadaha indhaha ee hagaajinta qalabka elektiroonigga ah, habka sawir-qaadista. ?
Waafaqid vacuum heer sare ah
Sababtoo ah iftiinka ultraviolet ee aadka u daran (EUV) waxaa si fudud u nuugaya dhammaan walxaha, oo ay ku jirto hawada, mashiinnada lithography ee EUV waa inay ku shaqeeyaan jawi faaruq ah. Halkaa marka ay marayso, iswaafajinta qaybaha qalabka iyo deegaanka faakuumka ayaa si gaar ah muhiim u ah. Meel faaruq ah, alaabtu way milmi kartaa, qurxin kartaa oo soo dayn kartaa gaasta. Gaaska la sii daayay kaliya ma nuugo iftiinka EUV, isagoo yareynaya xoojinta iyo gudbinta iftiinka iftiinka, laakiin sidoo kale waxaa laga yaabaa inuu wasakheeyo muraayadaha indhaha. Tusaale ahaan, uumiga biyuhu waxa ay oksaydhayn karaan muraayadaha, iyo hydrocarbons-ku waxa ay ku shubi karaan lakabyada kaarboon muraayadaha, taas oo si weyn u saamaynaysa tayada lithography. ?
Granite waxay leedahay sifooyin kiimikaad oo deggan oo si dhib leh u sii daaya gaasta deegaan faaruq ah. Marka loo eego tijaabada xirfadleyda, mashiinka sawir-qaadista sawir-qaadista ee jawiga nadiifka ah (sida deegaanka nadiifka ah ee ultra-nadiif ah kaas oo nidaamka iftiinka iftiinka iyo nidaamka muuqaalka muuqaalka qolka weyn ay ku yaalliin, u baahan H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻ ka hooseeya, heerka ugu hooseeya ee ka hooseeya 10⁻ granite Pa), alaabta kale sida biraha. Tani waxay awood u siinaysaa gudaha mashiinka sawir-qaadista si ay u ilaaliso shahaado sare oo nadiif ah iyo nadaafad muddo dheer ah, hubinta gudbinta sare ee iftiinka EUV inta lagu jiro gudbinta iyo deegaanka isticmaalka aadka u nadiifka ah ee muraayadaha indhaha, kordhinta nolosha adeegga nidaamka indhaha, iyo kor u qaadista waxqabadka guud ee mashiinka sawir-qaadista. ?
Iska caabin gariir xoog leh iyo xasilloonida kulaylka
Inta lagu jiro habka sawir-qaadista, saxnaanta heerka nanometerku waxay u baahan tahay in mashiinka sawir-qaadista waa inuusan yeelanin wax yar oo gariirka ama qallafsanaanta kulaylka. Gariirka deegaanka ee ka dhashay hawlgalka qalabka kale iyo dhaqdhaqaaqa shaqaalaha ee aqoon isweydaarsiga, iyo sidoo kale kulaylka ay soo saarto mishiinka sawir-qaadista laftiisa inta lagu jiro hawlgalka, dhamaantood waxay carqaladayn karaan saxnaanta sawir-qaadista. Granite waxay leedahay cufnaan sare iyo muuqaal adag, waxayna leedahay iska caabin gariir aad u fiican. Qaab dhismeedka macdanta gudaha waa mid is haysta, kaas oo si wax ku ool ah u dhimi kara tamarta gariirka oo si degdeg ah u xakameyn kara faafinta gariirka. Xogta tijaabada ahi waxay muujinaysaa in isla isha gariirku hoos timaado, saldhigga granite uu yarayn karo baaxadda gariirka in ka badan 90% gudaha 0.5 ilbiriqsi. Marka la barbardhigo saldhigga birta, waxay dib ugu soo celin kartaa qalabka xasilloonida si dhakhso ah, iyada oo hubinaysa booska saxda ah ee u dhexeeya muraayadda sawir-qaadista iyo wafer-ka, iyo ka fogaanshaha qaabka qaab-dhismeedka ama qallafsanaanta uu keeno gariirka. ?
Dhanka kale, isku-dhafka fidinta kulaylka ee granite aad ayuu u hooseeyaa, qiyaastii (4-8) ×10⁻⁶/℃, kaas oo aad uga hooseeya kan qalabka macdan. Inta lagu jiro hawlgalka mashiinka sawir-qaadista, xitaa haddii heerkulka gudaha uu isbeddelo sababtoo ah arrimo ay ka mid yihiin kulaylka ka imanaya isha iftiinka iyo khilaafka qaybaha farsamada, saldhigga granite wuxuu ilaalin karaa xasilloonida cabbirka mana dhici doono isbeddel weyn sababtoo ah ballaarinta kulaylka iyo foosha. Waxay bixisaa taageero xasilloon oo lagu kalsoonaan karo oo loogu talagalay nidaamka indhaha iyo goobta dhaqdhaqaaqa saxda ah, ilaalinta joogtada ah ee saxnaanta sawir-qaadista.
Waqtiga boostada: Meey-20-2025