Dunida wax soo saarka saxda ah ee sare - halkaas oo dulqaadku uu ka yaraado 5 microns iyo dhammaadka dusha sare uu u dhawaado tayada indhaha - qalabka aan ku tiirsannahay waa inuu ka gudbaa dhaqanka. Tobannaan sano, birta iyo granite ayaa xukumayay kursiga mitirka. Laakiin maadaama warshadaha sida qalabka semiconductor-ka, indhaha hawada sare, iyo aaladaha yaryar ee caafimaadka ay ku riixaan meelo xitaa qulqulka kulaylka ama xirashada microscopic ay keento qalad aan la aqbali karin, fasal cusub oo qalab tixraac ah ayaa soo baxaya: kuwa aan laga samayn bir ama dhagax, laakiin laga sameeyay dhoobada farsamada ee horumarsan.
ZHHIMG, waxaan ka gudubnay wax ka baxsan bixinta fududXuddunta Toosan ee Dhoobada ahama alaabada Ruler Square Ceramic. Waxaan dib u qeexaynaa waxa uu noqon karo gees toosan—annagoo isku darayna walxaha dhoobada ah ee aadka u deggan iyo naqshad casri ah, oo ay ku jiraan ruler-kayaga cusub ee hawada ee Ceramic-ka ah ee sabbaynaya, oo ah xal baabi'inaya taabashada farsamada gebi ahaanba iyadoo la keenayo ku celcelinta heerka nanometer-ka.
Maxaa loo sameeyaa dhoobada? Jawaabtu waxay ka bilaabataa heerka molecular-ka. Si ka duwan birta - oo si weyn ugu fidda heerkulka - ama granite - taas oo, inkastoo ay xasilloon tahay, ay weli tahay daloolo iyo kala duwanaansho - dhoobada la farsameeyay sida alumina-ga alumina-ga ee zirconia (ZTA) iyo silicon nitride waxay bixiyaan daloolo ku dhow eber, adkaansho aan caadi ahayn (1400–1800 HV), iyo isku-dhafka ballaarinta kulaylka oo hooseeya ilaa 3–4 µm/m·°C. Tani waxay ka dhigan tahay in Ceramic Toosan Edge oo ka socda ZHHIMG uu ilaaliyo joomatarigiisa oo dhan oo ka gudbaya isbeddelka heerkulka kaas oo qalloocin doona qalabka caadiga ah dhowr microns.
Laakiin walxaha kaliya kuma filna. Waxa runtii kala soocaya matoorada dhoobada ah waa saxnaanta farsamadooda. Annagoo adeegsanayna shiididda dheemanka, nadiifinta hoos-u-dhaca, iyo xaqiijinta interferometric-ka laser-ka ee qolalka nadiifinta ee ISO Class 5, waxaan gaarnaa dulqaad toosan oo ka wanaagsan 0.8 µm in ka badan 500 mm - oo aan la xaqiijin oo keliya marka la keenayo, laakiin lagu diiwaangeliyey warbixinnada cabbiraadda oo dhammaystiran oo lagu raadraaci karo heerarka NIST iyo PTB.Xuddunta Afargeeslaha Dhoobada ahwuxuu maraa tijaabinta toosan iyada oo loo marayo is-waafajin elektaroonik ah, iyadoo la hubinayo in xaglaha lagu hayo 1 ilbiriqsi gudahood (≈0.5 µm leexasho 100 mm).
Kuwani maaha tilmaamo aragtiyeed. Waa xaqiiqooyin hawlgal oo loogu talagalay macaamiisha aan hadda awoodin inay tanaasul sameeyaan. Alaab-qeybiye hormuud ka ah qaybta lithography-ga EUV hadda wuxuu adeegsadaa Ruler-kayaga Tooska ah ee Ceramic si gaar ah si uu u hagaajiyo muraayadaha taageerada muraayadaha. "Rulers-ka birta ah ayaa qalloocan intii lagu jiray wareegyada soo-gaadhista dheer," ayuu khabiirkooda metrologiga ah noo sheegay. "Granite wuxuu soo qaaday walxaha. Nooca dhoobada ah? Waxay ahayd mid deggan 18 bilood - looma baahna dib-u-hagaajin."
Haddana xitaa qaab-dhismeedka qumman waxaa waxyeelleyn kara taabashada. Jiid mastarad dusha sare, waxaadna halis ugu jirtaa xoqitaan yar yar, faragelin filim saliid ah, ama isbeddel laastikada ah - gaar ahaan biraha jilicsan ama muraayadaha indhaha ee la safeeyey. Taasi waa meesha hal-abuurka ZHHIMG uu ka boodo mastaradda hawada ee Ceramic-ga ah ee Custom Ceramic.
Kani ma aha oo kaliya gees toosan oo dhoobo ah oo godad lagu qoday. Waa nidaam hawo-qaadis ah oo si buuxda loo farsameeyay, oo loogu talagalay isticmaalka dhaqdhaqaaqa dareeraha xisaabinta si loo bixiyo hawo-socod siman oo laminar ah oo ku baahsan dhererka guud ee mastaradda. Marka lagu cadaadiyo hawo nadiif ah oo qalalan (ama nitrogen jawi xasaasi ah), mastaraddu waxay dul sabaysaa 5–10 microns oo ka sarreysa shaqada - taasoo meesha ka saaraysa taabashada jireed iyadoo la ilaalinayo isku-xirnaan qumman. Natiijadu ma tahay? Cabbirka dhabta ah ee aan taabashada lahayn ee loogu talagalay fidsanaanta, toosanaanta, ama xaqiijinta dhererka tallaabada, iyadoo ku celcelinta hoos loogu dhigayo ±0.2 µm.
Hal shaybaar oo ku takhasusay xisaabinta quantum-ka ee Switzerland ayaa hadda isticmaala mastarad hawada ku dul sabaysa oo 600-mm ah si loo baaro qalabka jajabka ee superconducting. "Xitaa haddii aad la kulanto qalab jilicsan - waxay soo bandhigaysaa cadaadis wax ka beddelaya waxqabadka qubit," ayuu sharraxay injineerkooda habka. "Mastarad dhoobada hawada ku dul sabaysa ayaa na siinaysa tixraaca aan u baahannahay iyada oo aan la taaban qaybta. Waxay noqotay mid muhiim u ah howlgalka."
Waxa suurtogal ka dhigaya tan waa isku-darka gaarka ah ee ZHHIMG ee sayniska agabka, mashiinka saxda ah, iyo khibradda metrology. In kasta oo alaab-qeybiyeyaal badan ay dhoobada u arkaan qaybo qaab-dhismeed, waxaan u hagaajinnaa sidii walxo cabbir ah. Naqshadahayaga Qalabka Wareegga Ceramic Square waxaa ka mid ah geesaha godan si looga hortago jajabka, dhabarka matte-ka ah ee la dhammeeyey si loo yareeyo dhalaalka marka la kormeerayo iftiinka, iyo calaamado aamin ah oo ikhtiyaari ah oo loogu talagalay nidaamyada aragga ee otomaatiga ah. Codsiyada qolka nadiifka ah, dusha sare waxaa loo safeeyaa Ra < 0.02 µm si loo yareeyo isku-dhejinta walxaha.
Maadaama codsi kastaa uu ka duwan yahay kan kale, ma aaminsanin hal cabbir oo ku habboon dhammaan. Ma u baahan tahay gees Toosan oo Ceramic ah oo leh kanaallo faakiyuum ah oo ku dhex jira si ay u qabtaan wafer khafiif ah inta lagu jiro kormeerka? Waan dhisnay. Waxaan u baahannahay aMastarad afargeesle ahiyadoo godad dhex mara ay la jaanqaadayaan tilmaanta baaritaankaaga CMM? Ma dhameysatay. Ma rabtaa maareeye hawo oo si gaar ah u dahaaran oo leh dareemayaal cadaadis oo isku dhafan iyo jawaab celin heer dhijitaal ah? Taasi waxay horeyba ugu jirtay tijaabinta beta iyadoo la adeegsanayo macaamiil diyaaradeed oo Tier-1 ah.
Aqoonsi warshadeed ayaa ku xigtay. Dib-u-eegista Caalamiga ah ee Heerka Sare ee 2025, ZHHIMG waxaa lagu tilmaamay inay tahay shirkadda kaliya ee bixisa qoys dhammaystiran oo qalab tixraac ah oo dhoobada ah oo shahaado haysta - oo ay ku jiraan noocyo kala duwan oo sabeynaya - oo leh xaqiijin joomatari oo dhammaystiran iyo raad-raac dijitaal ah. Laakiin tan ka sii muhiimsan, qaadashada ayaa dardar gelinaysa: in ka badan 60% dalabaadkayaga xakamaynta dhoobada hadda waxay ka yimaadaan warshado hore u tixgeliyey qalabkaas "xad-dhaaf ah" - ilaa ay cabbireen farqiga.
Shirkad cusub oo soo saarta qalab caafimaad oo lagu tallaalo neerfaha ayaa ka beddelay birta una beddelay Ceramic Square Ruler-keena waxayna arkeen wax-soo-saarkoodii ugu horreeyay oo booday 22%. "Sanduuqa hore wuxuu ka tagay gouges yar yar oo ku yaal guryaha titanium," ayuu yiri maamulahooda QA. "Xitaa ma aanan ogaanin ilaa aan beddelnay. Hadda, qayb kasta waxay dhaaftaa hubinta muuqaalka iyo cabbirka isku daygii ugu horreeyay."
Markaa markaad qiimeynayso casriyeyntaada xiga ee mitirka, isweydii naftaada: Ma geeskayga tooska ah ee hadda jira ayaa ku daraya hubanti la'aan — mise wuu baabi'inayaa?
Haddii habkaagu uu ku shaqeeyo geeska la ogaan karo, jawaabtu waxay ku jiri kartaa dhoobada - ma aha wax cusub, laakiin waa daruuri. ZHHIMG, ma soo saarno oo keliya qalabka Ceramic Toosan Ruler, Ceramic Square Ruler, ama Ceramic Toosan Edge. Waxaan kalsooni ku abuurnaa micron kasta.
Waqtiga boostada: Diseembar-31-2025